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晶圆搬运机loader含显微镜
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苏州锐纳微光学有限公司是一家从事光学、机械、电子精密测量仪器集研发、生产、销售的和服务等一体化高科技企业。
锐纳微光学以对高品质的不断追求，良好的客户服务，其雄厚的实力和在业界良好的信誉，成为LEICA，NIKON，OLYMPUS,UNION等光学显微镜销售，工业测定仪器和相关电子元件等的合作伙伴。
锐纳微光学拥有一批专业应用技术人员， 能给客户提供Z为实用的专业咨询, 维修工程师能提供更有成效的跟踪售后服务.对LCD、PCB、FPC、MEMS、半导体、显示设备、IC封装、Lead Frame、精密零件、光纤通讯、 LED产业医疗器械等行业所涉及到显微检查，测量尺寸，分析结果等应用有成熟的经验和独到的见解。因此, 您有理由相信我们给您提供的产品必定给您带来较大的效益, 为您节省更多的资源。让我们成功的成为合作关系，共同努力进取。
专业的销售人员有着多年光学仪器行业服务经验。提供专业销售，维修等服务。
优质的供货链保证的稳定的供货，快捷的交货期。
批发直销的方式减少了货品流通的中间环节，保证了价格优势。
和世界各大光学显微镜品牌厂家有着长期良好的合作。
专业的服务人员，为客户提供设备的维护 保养 校正 等技术支持。
详细信息
产品简介：
•AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆
•非常适合于前道到后道工程的晶圆检查
•适应范围广、搭配灵活
•高度实用性
•进一步优化的宏观检查
•操作便捷
•高度可靠性
•优先考虑晶圆和操作者的安全
•坚固、耐用的显微镜底座
•人机工程学设计的载物台
•电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度
•如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上
产品特点：
•对应多种尺寸组合
•有200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号
•对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆
•宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘
•利用360゜旋转功能，*可以目视检查整个晶圆（包括边缘）
•在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆*大倾斜30゜进行观察
•为了满足各种常规检查的要求，AL120可以登记多达10个检查程序
•使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度
•快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序
•晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示
•使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT，便于操作者再次确认
•AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口／平面，可以减少晶圆和设备之间的接触，提高晶圆的清洁度
•为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计
•在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令
•AL120搭载奥林巴斯MX晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法
•实现了*的图像分辨率和清晰度
•手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
•可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化
•只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置
高度可靠性
优先考虑晶圆和操作者的安全
为了能够安全的安装晶圆，采用了在装置正面放置片盒的设计。
在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测，同时，在环境保护方面遵守了RoHS指令。
坚固、耐用的显微镜底座
AL120搭载奥林巴斯MX专业晶圆检查显微镜系列，通过各种观测方法，包括：明视场、暗视场、微分干涉（DIC）、近IR（近红外线）和DUV（深紫外线），实现了图像分辨率和清晰度。电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定，可以优化各物镜的照明和对比度。如果特别订制，AL120还可以应用到其他型号的显微镜上。
人机工程学设计的载物台
手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率，标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台，进一步将检查过程自动化。只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置。
