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LPA12FS-3 美国Logosol晶圆预对准器
- 型号
- LPA12FS-3
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详细信息
美国Logosol晶圆预对准器
美国Logosol LPA12FS-3预对准器
Logosol的经过时间考验的技术和高可靠性标准是行业中广泛的预对准器系列的基础。预对准器产品系列支持处理从45毫米到480毫米的对象，具有任何透明度水平，从不透明到透明。Logosol的一体化设计和多功能控制软件使其能够与各种半导体平台实现即插即用的兼容性和接口。
美国Logosol晶圆预对准器
美国Logosol边缘处理
创新的自主设备，采用零夹持力的被动边缘接触技术，是Logosol边缘夹持预对准器技术的替代方案，确保在处理75毫米至300毫米对象时，晶圆不受应力影响，保持最大的清洁度。提供标准和高精度型号。
型号：LPA6EH-3,LPA8EH-3,LPA68EH-3,LPA8ET-3,LPA12ET-3,LPA812EH-3
美国Logosol独立式
自主设备，用于对45毫米至480毫米的对象进行高精度对准，包括正方形和双层基板，具有单元处理多种尺寸对象而无需机械重新定位、夹具负载和销负载模式以及高精度选项。
型号：LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,LPA1218-3
美国Logosol嵌入式
用于高速晶圆传输系统的成本效益的中心计算和角度定位设备，具有45毫米至480毫米对象的对准能力，并可轻松与市场上可用的任何机器人进行集成。提供高精度和夹具尺寸/材料选项。
型号：LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E
