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PICOSUN™P-1200
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上海磊微科学仪器有限公司 成立于2015年，总部位于上海市自由贸易区，是一家集销售、服务、技术支持及研发为一体的企业。公司主要产品为高精度的分析检测、生产设备及相关的备件，目前已与Park、Tescan、Picosun、Instec等优秀设备供应商建立战略合作关系。
上海磊微销售高精度的产品，同时培养了专业的销售和售后服务团队，以专业的服务获得了广大客户的认可。目前，上海磊微提供的产品广泛应用于芯片、显示、太阳能等半导体工业领域客户，同时服务于各大高校、科研院所，并以专业的销售和售后服务获得了广大客户的认可并建立了良好的合作关系。同时在北京、成都、深圳、合肥、烟台等地设有服务网点。
在半导体产业发展如火如荼的今天，上海磊微伴随着行业不断学习、积极提升自身水平， 为越来越多的客户提供了专业的产品和服务。今后，磊微将以不断培育的市场为依托，以先进优质产品为核心，以高效运作的团队为基础，迎来更快更好的发展。我们一直秉承团结创新、严谨奋进的企业精神，秉承诚信务实、互利多赢的经营理念，努力为客户、为社会提供高品质产品和服务。
详细信息
PICOSUN™P-1200系统专门对批量的大 尺寸平面基底进行低温薄膜沉积， 应用于有机光电、显示器和OLED等领域。主要的应用包括制备各种各样的钝化层和阻挡层， 显著提高器件的性能和寿命。巧妙、创新的设计使 得PICOSUN™ P-1200 ALD系统在具有制备高 均一性的高质量ALD薄膜的同时能够有很高 的产量， 并且是市场上保养、维护时间低， 购置成本最小的ALD系统。这些都已经在实际 生产中得到证实。
可靠、快速且易于维护的PICOSUN™ P-1000 ALD系统代表了工业化ALD工艺水平！
PICOSUN™P-1200衬底尺寸和类型
• 400x 500 mm(厚度~1mm) 28片/批次 (10mm片间距）
• 370x 470 mm(厚度~1mm) 28片/批次 (10mm片间距）
• 柔性衬底的卧式批量加工
工艺温度和产率
• 50 – 120°C
• 产量达到168片/24h (100nm Al2O3)
标准工艺
• 低温沉积Al2O3等薄膜材料
基片装载
• 半自动装卸
• 预真空室配备温度控制器（25 - 80 °C），以达 到最大产量和低水分污染
前驱体
• 液态、固态、气态、臭氧源
• 源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务
• 7根独立源管线， 最多加载10个前驱体源
