VP-RS20等离子体刻蚀机采用真空不锈钢腔体等离子清洗装置（CN201821506143.X）技术，对标国际一线厂家，补充国内技术短板，真空腔体不锈钢材质，功率500W，VP-RS20频率13.56MHz，容积20L，能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用，满功率运行3分钟，腔体温度不高于45℃，不损伤样品，适用于半导体刻蚀、芯片刻蚀、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。

      广州善准科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中国广州，专注于等离子体刻蚀机、真空等离子处理仪、旋转型真空等离子处理仪、旋转型等离子体低温灰化仪和石英管真空封管机的研究、开发和制造。善准人经过多年的刻苦钻研，抽丝剥茧，反复测试、成功获得“一种低温旋转型石英等离子表面处理装置：ZL202020226847.2）”等十项国家技术及软件著作权，成为国内掌握产生13.56MHz频率，保证满功率清洗30分钟真空腔体内温度不超过32摄氏度的等离子生产厂家，应用此技术的VP-R系列迅速成为行业“爆款”，补充国内技术空白，性能比肩一线厂家；研发生产的旋转型真空等离子处理仪和旋转型等离子体低温灰化仪成功推出，进一步巩固了善准科技在真空等离子清洗机行业的地位；而回应市场需求，解决样品在无氧无水条件下进行PLASMA处理的痛点而推出的手套箱专用分体式真空等离子处理仪，则验证了善准人与时俱进的研发能力和敢为人先的风格；VS-Q系列石英管封管机解决实验室安全、简易地真空密封石英管的难点，是对石英管真空密封技术的重新定义。