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SE-VF 光谱椭偏仪
光谱椭偏仪，反射膜厚仪
武汉颐光科技有限公司（Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd）是国内从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，现有员工80%以上拥有硕士或博士学位，是椭偏光学仪器领域非常有优势的技术团队。
颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为用户提供光学散射测量仪等系列产品，并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。
颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势，立志成为中国的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为企业值得信赖的合作伙伴。
详细信息
一、概述
SE-m 是一款针对半导体行业定制的微区图形结构测量的专用型光谱椭偏仪，其采用 1 超小微光斑探测测量技术， 2 定制超快测量速度等技术。可应用透明各类衬底上的减反膜、导电膜等薄膜的n/k/d测量，适用于微区图形的各种光学参数解析。
二、特色功能
■ 可定制光斑尺寸，最小可达30um；
■ 超快测量，单次测量时间小于0.5秒 ；
■ 系列配置灵活，支持功能定制设计；
■ 结构紧凑，更适应在线集成测量。
三、测量实例
微区图形结构测量
四、应用场景
应用于光学常数测量，适用于各类光学薄膜等镀膜检测应用。
