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椭偏检测机台
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光谱椭偏仪，反射膜厚仪
武汉颐光科技有限公司（Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd）是国内从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，现有员工80%以上拥有硕士或博士学位，是椭偏光学仪器领域非常有优势的技术团队。
颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为用户提供光学散射测量仪等系列产品，并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。
颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势，立志成为中国的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为企业值得信赖的合作伙伴。
详细信息
一、产品概述
颐光科技椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。
二、产品特点
■ 支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术；
■ 支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告；
■ 支持多椭偏方案，多组合集成
■ 支持测头模块以及样件机台定制化
三、应用场景
应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。
参考设计方案
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| 高度整合椭偏技术方案 |
技术参数
