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IRE-200 膜厚测试仪
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武汉颐光科技有限公司（Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd）是国内从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，现有员工80%以上拥有硕士或博士学位，是椭偏光学仪器领域非常有优势的技术团队。
颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向，为用户提供光学散射测量仪等系列产品，并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。
颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势，立志成为中国的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地，立志成为企业值得信赖的合作伙伴。
详细信息
一、概述
IRE-200光学薄膜测厚仪是一款超高精度的外延层厚度测量设备，利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析，主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。
■ 单抛/双抛等多种模式选择支持；
■ 自定义mapping功能；
■ 高检测速率：Si标准外延片测量25点≤3min；
■ 高检测精度：≤0.01um 。
二、产品特点
1）设备采用高性能光源模块，光源稳定性好，信噪比高，覆盖范围7800-350cm-1。
2）搭配自主研发算法软件，可精准快速地获取测量结果。
3) 搭配自主研发的mapping运动台，定位精准、测量速度快。
三、产品应用
IRE-200广泛应用于半导体行业中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延层厚度的量测。
SiC EPI量测案例
技术参数
