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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
半导体激光退火机是用于半导体制造过程中的一种设备。退火是一种热处理过程，通过加热半导体材料来改变其性质，以实现所需的特性，如电导率、晶体结构和应力缓解。半导体激光退火机利用高能激光束来对半导体基片进行精确和控制的加热和修改。
2. 设备特点
主要功能：快速热退火，快速热氧化，快速热氮化，扩散，化合物半导体退火，离子注入后退火，电极合金化等；
样片尺寸：8inch，向下兼容，支持不规整样品退火；
退火温度范围：室温~1200 ℃；
室温到1000度，最快升温速率120 ℃/second；
全程热电偶测温，不使用高温计，无需额外校准；
退火温度的重复性、准确性 ± 1 ℃；
两路工艺气体，MFC流量计控制，流量为0-5NLM；
可通入氮气、氧气，可以分别通入或者通入混合气体；
可选择真空退火模式，真空度可达10^-6hpa；
配置前级泵，抽速3L/s,极限压力4*10-2pa；
SPS SIMATIC 软件控制工艺过程，可编程序不少于50个，且每个程序可编程步骤不少于50步。
