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customized 聚焦离子束系统FIB

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深圳市矢量科学仪器有限公司

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

一、产品概述:

聚焦离子束系统(FIB)是一种高精度的材料加工和分析工具,利用聚焦的离子束对样品进行雕刻、切割和表征。FIB技术广泛应用于半导体制造、材料科学和纳米技术领域,能够实现对微小结构的精确操作和分析

二、设备用途/原理

·设备用途

FIB系统主要用于纳米级材料的加工与表征,包括样品的切割、沉积、刻蚀以及缺陷分析。它在半导体行业中用于制造和修复微电子器件,也可用于材料的微观结构分析和三维成像,帮助研究人员深入理解材料的特性和行为。

·工作原理

FIB的工作原理是通过加速的离子束(通常是铟离子)轰击样品表面,导致材料的原子被击出或沉积。离子束的聚焦能力使其能够精确控制加工区域的大小和深度。通过调节离子束的能量和曝光时间,研究人员可以实现高精度的材料去除或添加。同时,FIB系统通常配备有扫描电子显微镜(SEM),可以在加工过程中实时观察样品,提供高分辨率的图像和分析数据。此结合使得FIB成为一项强大的材料研究和加工工具。









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