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半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM
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扫描电子显微镜，双束电镜，透射电子显微镜，冷冻电镜，X射线光电子能谱仪，三维可视化软件
原FEI公司，2016年被赛默飞世尔科技收购，成为赛默飞材料与结构分析（MSD) 电镜事业部，是显微镜和微量分析解决方案的创新者和供应商。 我们提供扫描电子显微镜SEM，透射电子显微镜TEM和双束-扫描电子显微镜DualBeam FIB-SEM，结合先进的软件套件，运用广泛的样本类型，通过将高分辨率成像与物理、元素、化学和电学分析相结合，使客户的问题变成有效可用的数据。
详细信息
半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM
用于半导体计量和工艺表征的高生产率透射电子显微镜
半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM主要特点
一致、可重复、精确
全新设计，提供可重复的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具备计量能力的计量器。
计量准确度
TEM 和 STEM 失真和放大率校正的组合误差小于 0.75%。
自动化 EDS 和混合计量
通过自动化获取和量化 EDS 数据。使用关键尺寸元件对比度来扩展 STEM。
工作流程连通性
通过样品制备、提取和成像跟踪关键工艺数据。计量可离线应用，从而极大增加工具采集时间。所有成像和计量数据均整合在基于网络的图像查看器中。
高压范围 (kV) | 60-200 kV | |
信息限度 200 kV (nm) | 0.11 | |
未校正 | 探头校正* | |
STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV |
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STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV |
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用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的计量精密度 |
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电子源 |
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超稳定电子设备和高压 |
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隔音罩 |
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恒定功率透镜 |
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压电载物台 |
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探头校正器兼容 |
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