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customized 中央供药系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
智程中央供药系统是用于厂内供药的设备,能够按照设定的配比,将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。它可以精确地控制药液的输送和配比,确保生产过程中使用的药液符合工艺要求。
2. 设备应用:
· 半导体制造:在半导体晶圆制造过程中,为各种清洗、蚀刻、沉积等工艺提供精确配比的化学药液,如酸性(H₂SO₄、HCl、HNO₃、H₃PO₄、HF、BOE 等)、碱性(NH₄OH、NaOH、KOH 等)、有机(IPA、ACE、去胶、去蜡等)以及抛光液(金刚石抛光液、化学抛光液等。
· LED 光电行业:为 LED 芯片的制作过程提供所需的化学药液供应,助力提升 LED 产品的质量和性能。
· 电子行业:在电路板制造等电子制造环节中,提供精确的化学药液供应,保障生产工艺的顺利进行。
3. 设备特点:
· 供药配比精确:能够严格按照设定的比例进行药液调配,确保药液浓度的准确性,从而保证生产工艺的稳定性和产品质量。
· 配方可编辑:配方可以根据客户的具体需求进行编辑和确认,具有较高的灵活性,能满足不同生产工艺对药液配方的多样化要求。
· 容量定制化:容量大小可根据客户的实际需求进行定制,适应不同规模的生产场景,避免资源浪费或供应不足的情况。
· 自动化程度高:实现了自动供药过程,减少了人工操作带来的误差和不确定性,提高了生产效率和供药的及时性。
· 系统稳定性强:经过精心设计和优化,具备良好的稳定性和可靠性,能够在长时间的生产过程中稳定运行,降低设备故障对生产的影响。
4. 产品参数:
· 供药种类:涵盖各种适用药液,如不同类型的酸、碱、有机溶液和抛光液等。
· 配比精度:例如可精确到小数点后几位的配比精度。
· 最大供药流量:反映系统在单位时间内能够供应的药液最大量。
· 储液罐容量:根据定制需求,储液罐的容量有不同规格。
· 控制方式:如采用先进的自动化控制系统,具备精确的参数设置和监控功能。
· 管路材质:使用适合输送化学药液的特殊材质管路,确保药液的稳定性和安全性,同时具备良好的耐腐蚀性。
· 实际参数可能会因设备的具体配置和定制需求而有所不同。