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CER的SE 500adv 结合椭偏反射
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经销商北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。
我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。
北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。
客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!
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厚度确定
椭偏测量和反射测量的结合允许通过自动识别循环厚度周期来快速且明确地确定透明膜的厚度。
宽的测量范围
激光椭偏仪和反射仪的结合将透明薄膜的厚度范围扩展到25μm,更多地取决于光度计的选项。
扩展激光椭偏仪的极限
结合椭偏反射性能优异的多角度手动角度计和角度精度*的激光椭偏仪允许测量单层薄膜和层叠膜的折射率、消光系数和膜厚。
SE 500adv结合了椭偏仪和反射仪,除了测量透明膜层厚度的模糊性。它把可测量的厚度扩展到25m,因此SE 500adv扩展了标准激光椭偏仪SE 400adv的能力,特别适用于分析较厚的介质膜、有机材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。
SE 500adv可作为激光椭偏仪、膜厚探针和CER椭偏仪使用。因此,它提供了标准激光椭偏仪从未达到的大灵活性。作为椭偏仪,可以进行单角度和多角度测量。当用作膜厚探针时,在正常入射下测量透明或弱吸收膜的厚度。
SE 500adv结合椭偏反射中的椭偏测量和反射测量的组合包括椭圆测量光学部件、角度计、组合反射测量头和自动准直透镜、样品台、氦氖激光光源、激光检测单元和光度计。
SE 500adv的选项支持在微电子、微系统技术、显示技术、光伏、化学等领域的应用。