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首页>半导体行业专用仪器>其它半导体行业仪器设备>少子寿命测试仪

MDPlinescan-1 MDPlinescan在线少子寿命测试仪

型号
MDPlinescan-1
束蕴仪器(上海)有限公司

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束蕴仪器(上海)有限公司自成立以来,凭借与德国布鲁克(BRUKER)、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作,迅速成为业界仪器供应商。

我们拥有一支积极乐观,正直诚信的年轻团队,我们热忱的信仰科学,相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活,为社会的进步起到积极的促进作用。

束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备,专业的应用支持及完善的售后服务,在中国大陆的诸多领域拥有大量用户,如高校、科研院所、航空航天,政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。

公司的宗旨:为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务,优质的客户培训,快速及时的售后服务。

 

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主营仪器设备:

--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪          (ESR/EPR)、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商

--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心(ICDD)授权代理商

--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商

--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理

 


 单位名称:束蕴仪器(上海)有限公司

详细地址:上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室

 

 

 

 

 

详细信息

MDPlinescan在线少子寿命测试仪在众多的少子寿命测量方法中,MDP(微波检测光电导率)采用改进的少子寿命检测技术,是微波检测光电导衰减法检测仪中常用的仪器之一,少子寿命测试仪原理从载流子输运原理出发,建立广义速率方程和偏微分方程系统。拥有*的灵敏度和分辨率,很大程度提升在线检测的速度和质量,快速出具少子寿命测试的实验报告。
       

        

MDPlinescan被设计成一个易于集成的OEM设备,可以集成到各种自动化检测线。关键的是在传送过程中进行少子寿命扫描。样品通常由测量头下面的传送带或机器人系统携带。应用实例包括从晶砖到晶圆检测,单晶少子寿命测试、多晶少子寿命测试,每块晶圆的测量速度小于一秒。电池生产线上的来料质量检查是经典的通用案例,也用于钝化和扩散后的工艺质量检查,还有许多其他特殊的应用的可能性。易于集成,只需要以太网连接和电源。
 

MDPlinescan W       

包括一个额外的电阻率测量选项。        

       


       

MDPlinescan在线少子寿命测试仪优点:         

◇  在µ-PCD或稳态激励条件下线扫描少数载流子寿命和电阻率是这个小型设备的重要功能;        

◇  OEM设备可以集成到多晶或单晶硅片的生产线上,在不同的制备阶段,直至器件、砖块或晶锭。        

◇  小巧的尺寸和标准的自动化接口使其易于集成。重点是测量结果的长期可靠性和精确性。        


       

        示范性线状扫描图        

      

细节:                  

◇  允许单晶圆片调查                 

◇  不同的晶圆级有不同的配方        

◇  监控物料、工艺质量和稳定性     


技术规格:    


样品

多种尺寸的多晶或单晶晶片,如156mm×156mm、晶砖、电池片等

样品尺寸

50 x 50 mm²以上

电阻率

0.2 - 10³Ω·cm

电导类型

P,N

样品类型

硅片、部分或全部加工的硅片、化合物半导体及更多的产品

可测量的特性

少数载流子寿命

硬件接口

以太网

尺寸规格

体积:174 x 107   x 205mm;重量:3公斤

电源

24 V DC, 2 A


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