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CPC-F/Fplus CIF 实验室型等离子清洗机
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
一、CIF 实验室型等离子清洗机 产品介绍
等离子清洗设备在材料学,光学,电子学,医药学,环境学、生物学等科研领域,主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
CIF推出的新一代等离子体清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。
二、CIF 实验室型等离子清洗机 产品特点
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。
u PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。
u HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
u 316不锈钢、石英真空仓可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u 采用60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
u 上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。
u 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
u 处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。
u 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
u 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | CPC-F | CPC-Fplus | ICP3 | ICP3 plus |
舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm |
舱体容积 | 3.8L | 3.8L | 3.8L | 3.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电感耦合 | 电感耦合 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计 | |||
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |||
产品尺寸 | L425xW420xH465mm | |||
包装尺寸 | L560xW545xH730mm | |||
时间设定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
气体稳定时间 | 1分钟 | |||
真空度 | 100pa以内 | |||
电 源 | AC220V 50-60Hz |