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CPC-F/Fplus CIF 实验室型等离子清洗机

型号
CPC-F/Fplus
参数
产地类别:国产 应用领域:医疗卫生,化工,生物产业,制药,综合
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

一、CIF 实验室型等离子清洗机 产品介绍

等离子清洗设备在材料学,光学,电子学,医药学,环境学、生物学等科研领域,主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。

CIF推出的新一代等离子体清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。        

二、CIF 实验室型等离子清洗机 产品特点

u 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。

u PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。

u HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

u 316不锈钢、石英真空仓可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

u 采用60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

u 上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。

u 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。

u 处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。

u 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

u 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

三、技术参数

型号

CPC-F

CPC-Fplus

ICP3

ICP3 plus

舱体尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

H120xΦ270mm  

H120xΦ270mm

舱体容积

3.8L

3.8L

3.8L

3.8L

射频电源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

自动匹配

自动匹配

激发方式

电容式

电容式

电感耦合

电感耦合

射频功率

10-300W可调

10-150W可调

10-300W可调

10-150W可调

气体控制

双浮子流量计

有效处理尺寸

L200xW155mm

产品尺寸

L425xW420xH465mm

包装尺寸

L560xW545xH730mm

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

AC220V 50-60Hz




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产品参数

产地类别 国产
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,制药,综合
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