EM-KLEEN 美国电镜腔远程等离子清洁仪
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- EM-KLEEN
南京覃思科技有限公司成立于2004年，主要从事粒子超快成像、电子显微镜/光学显微镜/X射线仪相关附件、实验室设备和耗材的销售和技术服务。我们拥有一支经验丰富的团队，骨干员工的工作经验均超过15年，我们致力于为尊敬的客户提供zhuo越的产品质量和售后服务。公司总部位于江苏省南京市，为整个中国市场提供全面的技术支持和服务，并专注于南方地区的销售工作。在北京设有分公司，负责北方地区的销售和服务工作。经过近二十年的努力，我们的客户遍及全国zhu名高等院校、科研院所、政府机构、企业单位等。
我们与国际zhi名品牌建立了牢固的分销关系，使我们能够提供多样化的产品组合。我们在中国市场合作的品牌包括：ASI（荷兰，X射线光子和粒子研究用的混合像素时间戳高速相机）；Safematic（瑞士，电镜样品镀膜设备）；Deben（英国，冷台、拉伸台、SEM探测器等显微应用配件）；Tousimis（美国，临界点干燥仪）；JC Nabity（美国，NPGS）；Dragonfly（加拿大，三维图像处理分析软件）； PIE（美国，台式和远程等离子清洗机）、Micro to Nano（荷兰，显微学耗材）、Labspinner（韩国，细胞外囊泡分离提纯系统及外泌体提取试剂盒）、ATTO（日本，电泳凝胶成像及生物化学发光检测成像）等。
我们不仅考虑诚信销售和出色服务，还倡导发展、真实、友善和创新的企业文化。我们不断努力提供xian进的产品和服务，以满足客户不断变化的需求。为了体现对zhuo越的承诺，我们积极参与学术会议、研讨会和各种展览活动。在遵循“为客户提供zhuo越的质量和服务”的指导原则下，我们建立了完善的客户追踪、文件管理和客户回访系统，取得了良好的经济和社会效益。
热忱欢迎各界人士与覃思科技合作，并加入覃思仪器大家庭！
详细信息
美国电镜腔远程等离子清洁仪
电镜腔等离子清洁仪（远程等离子清洁仪）
美国PIE出品的EM-KLEEN型远程等离子清洁仪，广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统，可同时清洁真空腔室和样品！
污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响
润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物，或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上，而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。
电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件上。这种碳氢污染沉积会降低EUV的镜面反射率，降低SEM图像对比度和分辨率，造成错误的表面分析结果，沉积在光阑或其它电子组件的不导电碳氢污染物甚至会造成电子束位置或聚焦缓慢漂移。在ALD系统中，样品表面的碳氢污染物还会降低薄膜的界面匹配质量。
美国电镜腔远程等离子清洁仪的原理
远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上，控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体，分解输入气体而产生氧或氢的活性基，活性基会扩散到下游的真空腔室，并与其中的污染物发生化学反应，反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。
技术特点：
快速清洁被污染的SEM样品。2-60秒氢等离子体清洁ALD样品。不需减速或关闭涡轮分子泵
低等离子偏压设计减少离子溅射和颗粒生成。结合自有专用多级气体过滤技术，SEMI-KLEEN能够满足用户zui苛刻的颗粒污染清除要求
可选蓝宝石管腔体和耐腐蚀性气体的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等应用
拥有等离子强度传感器可实时监测等离子状态，用户对等离子状态一目了然
基于压力传感回馈控制的自动电子流量控制器，无需手动调节针阀
直观的触摸屏操作，可定义60条清洗程序方案
拥有智能安全操作模式和专家控制模式；SmartScheduleTM定时装置，通过检测样品装载次数或时间间隔来定时清洁系统
低电磁干扰设计，安静的待机模式
