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SEMI-KLEEN 美国PIE等离子清洗仪

型号
SEMI-KLEEN
南京覃思科技有限公司

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南京覃思科技有限公司成立于2004年,主要从事粒子超快成像、电子显微镜/光学显微镜/X射线仪相关附件、实验室设备和耗材的销售和技术服务。我们拥有一支经验丰富的团队,骨干员工的工作经验均超过15年,我们致力于为尊敬的客户提供zhuo越的产品质量和售后服务。公司总部位于江苏省南京市,为整个中国市场提供全面的技术支持和服务,并专注于南方地区的销售工作。在北京设有分公司,负责北方地区的销售和服务工作。经过近二十年的努力,我们的客户遍及全国zhu名高等院校、科研院所、政府机构、企业单位等。

我们与国际zhi名品牌建立了牢固的分销关系,使我们能够提供多样化的产品组合。我们在中国市场合作的品牌包括:ASI(荷兰,X射线光子和粒子研究用的混合像素时间戳高速相机);Safematic(瑞士,电镜样品镀膜设备);Deben(英国,冷台、拉伸台、SEM探测器等显微应用配件);Tousimis(美国,临界点干燥仪);JC Nabity(美国,NPGS);Dragonfly(加拿大,三维图像处理分析软件); PIE(美国,台式和远程等离子清洗机)、Micro to Nano(荷兰,显微学耗材)、Labspinner(韩国,细胞外囊泡分离提纯系统及外泌体提取试剂盒)、ATTO(日本,电泳凝胶成像及生物化学发光检测成像)等。

我们不仅考虑诚信销售和出色服务,还倡导发展、真实、友善和创新的企业文化。我们不断努力提供xian进的产品和服务,以满足客户不断变化的需求。为了体现对zhuo越的承诺,我们积极参与学术会议、研讨会和各种展览活动。在遵循为客户提供zhuo越的质量和服务的指导原则下,我们建立了完善的客户追踪、文件管理和客户回访系统,取得了良好的经济和社会效益。

热忱欢迎各界人士与覃思科技合作,并加入覃思仪器大家庭!



详细信息

美国PIE等离子清洗仪

美国PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等离子清洗仪, 采用低压清洗技术,可清洗各种类型电子或者离子显微镜,深紫外光刻机,电子光刻系统等真空仪器。

本仪器由一个LCD触摸屏控制器和一个远程射频(RF)等离子源组成,远程等离子源通过一个KF40真空法兰连接到待清洗真空室,有转接法兰提供。主要用于清洗各种扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM),聚焦离子系统(FIB),离子显微镜(HIM)等真空系统中碳氢及其他污染。同时清洗真空腔体和样品。(PIE中国代理南京覃思科技有限公司)


一. 美国PIE等离子清洗仪te有功能

1. *的等离子技术,可以在小于0.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体。非常低工作气压比其他同类产品低10到100倍。低气压清洗速度非常快,非常均匀,对电子枪和分子泵非常安全;
2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉;
3. 带气压计的自动气体流量控制;
4. 实时测量等离子强度,用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方;
5. 自动射频匹配实时保证非常优化射频耦合,即使用户调节清洗配方;
6. 专有保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel,台积电,三星等半导体用户的严格颗粒污染要求;
7. 带LCD触摸屏的直观操作界面;
8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划,设好就自动清洗您的系统;
9. 支持清洗配方,一键开始,自动射频匹配,自动控制气体流量;
10. 微电脑控制器可记录所有信息状态,便于系统维护。


二. 技术指标

1. 等离子源真空接口:NW/KF40 法兰; 提供转接法兰;
2. 标配等离子强度传感器;
3. 等离子源非常低点火起辉气压:<0.1毫托;
4. 等离子源非常高工作气压:>1.0 托;
5. 漏气率:<0.005sccm;
6. 射频输出:0~100瓦,连续可调节;
7. 具有射频自动匹配功能

8. 电源和功率:110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦




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