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起订量：
RESmap-1 电阻率测试仪（RESmap ）
- 型号
- RESmap-1
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束蕴仪器（上海）有限公司自成立以来，凭借与德国布鲁克（BRUKER）、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作，迅速成为业界仪器供应商。
我们拥有一支积极乐观，正直诚信的年轻团队，我们热忱的信仰科学，相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活，为社会的进步起到积极的促进作用。
束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备，专业的应用支持及完善的售后服务，在中国大陆的诸多领域拥有大量用户，如高校、科研院所、航空航天，政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。
公司的宗旨：为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务，优质的客户培训，快速及时的售后服务。
束蕴仪器，让世界更清晰！
主营仪器设备：
--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪 （ESR/EPR）、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商
--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心（ICDD)授权代理商
--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商
--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理
单位名称：束蕴仪器（上海）有限公司
详细地址：上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室
详细信息
电阻率测试仪（RESmap ）在对低电阻率晶锭和晶圆进行非接触式测量方式上拥有非常重要的重复性Si | Ge | 化合物半导体 | 宽带隙 | 材料 | 金属 | 导电 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]
电阻率测试仪（RESmap ）特征 ：
| 电阻率的非接触式测量和成像 | 高频涡流传感原理与集成红外温度传感器可校正样品的温度变化 |
| 信号灵敏度 | 基于线圈频率读数的高信号灵敏度，可实现准确可靠的电阻率测量，并具有高再现性和可重复性 |
| 测量时间 | 测量时间 < 3 s，测量之间时间 < 1 s |
| 测量速度 | 200 mm 晶圆/晶锭 < 30 s，9个点 |
| 多点测量及测绘显示 | 不超过9999个点 |
| 材料外形尺寸 | 平坦或略微弯曲的晶圆、晶锭、锭板、毛坯和薄膜 |
| X-Y位置分辨率 | ≥ 0.1mm |
| 边缘扣除 | 5 mm |
| 可靠性 | 模块化、紧凑的台式仪器设计，可靠性高，正常运行时间 > 99% |
| 电阻率测量的重复性 | ≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法对材料系统分析（MSA） |
更多技术规格和配置选项:
为自动化流程做准备 | 可用于不同的平台 |
测量方法符合 | SEMI MF673标准 |
数据及数据有效性检查 | 使用NIST标准 |
校准精度 | ±1% |
集成红外温度传感器 （±0.1°） | 允许报告标准温度下的电阻率，（与样品的实际温度不同） |
样品厚度校准 | 对于高频信号穿透深度大于穿透深度的样品 |
电力要求 | 100-250 VAC, 5 A |
尺寸 | 465 ´ 550 ´ 600 mm |
软件控制 | 配备Window10或新版本的标准PC，2个以太网端口 |
用户友好且*的操作软件：
◇ 电阻率测量配方；
◇ 导出/导入功能和原始数据访问；
◇ 多级用户账户管理；
◇ 所有执行的测量概览；
◇ 绘图选项（线、十字、星、完整地图、地形、用户定义图案）；
◇ 分析功能包；统计、方差分析、温度校正函数和数据库；
◇ 远程访问；基于互联网的系统允许在世界任何地方进行远程操作和技术支持；
电涡流传感器的测量原理
中心处可实现较大的准确性和精确度
4H-SiC晶圆整个生长面区域的电阻率变化测量
硅晶圆电阻率变化测量 — 面扫描、分布和线扫描
