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首页>半导体行业专用仪器>其它半导体行业仪器设备>少子寿命测试仪

MDPpro 850+1 少子寿命测试仪µPCD/MDP (MDPpro 850+)

型号
MDPpro 850+1
束蕴仪器(上海)有限公司

高级会员5年 

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MicroCT,显微CT,微焦点CT,骨骼成像,显微CT材料学检测,微纳显微CT,X射线断层扫描,TOC,元素检测

束蕴仪器(上海)有限公司自成立以来,凭借与德国布鲁克(BRUKER)、衍射数据中心(ICDD)、德国Freiberg等实验室分析仪器品牌的战略合作,迅速成为业界仪器供应商。

我们拥有一支积极乐观,正直诚信的年轻团队,我们热忱的信仰科学,相信科学技术能为我们的客户带来高品质的生活,为社会的进步起到积极的促进作用。

束蕴仪器为各类客户提供优质的实验室和工业检测仪器及过程控制设备,专业的应用支持及完善的售后服务,在中国大陆的诸多领域拥有大量用户,如高校、科研院所、航空航天,政府组织、检验机构、及工业企业。产品覆盖了医药、生物、材料、考古、电子、食品等各个行业。

公司的宗旨:为客户量身打造合适的综合解决方案、技术支持和现场服务,优质的客户培训,快速及时的售后服务。

 

束蕴仪器,让世界更清晰!

主营仪器设备:

--高分辨X射线显微CT、多量程X射线纳米CT、X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、电子顺磁共振波谱仪          (ESR/EPR)、台式核磁共振波谱仪 TD-NMR、光学轮廓仪等 -- 德国布鲁克Bruker 授权代理商

--PDF衍射数据库、JADE软件--衍射数据中心(ICDD)授权代理商

--晶圆片寿命检测仪、在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测、晶圆片在线面扫检测仪、台式PID潜在诱导退化测试仪、释光测定仪等--德国Freiberg Instruments授权代理商

--BPCL化学发光仪--微光科技华东区总代理

 


 单位名称:束蕴仪器(上海)有限公司

详细地址:上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室

 

 

 

 

 

详细信息

少子寿命测试仪µPCD/MDP (MDPpro 850+)

用于单晶硅锭、硅砖和硅晶圆片的生产和质量监控。用于HJT、HIT、TOPcon、双面PERC、PERC+太阳能电池、钙钛矿等中的硅材料。

       

       

特点 :        

◇ 寿命范围:20 ns至100 ms(样品电阻率 > 0.3 Ohm cm)   

◇  SEMI标准:PV9-1110        

◇  测试速度:线扫描 < 30 s;完整的面扫秒 < 5 min        

◇  同时测量:寿命μPCD/MDP(QSS)和电阻率

◇  自动几何形状识别: G12、M10晶砖和晶圆片        


应用 :   

◇  寿命 & 电阻率面扫描        

◇  晶体生长监控(即滑移线)        

◇  污染监测

◇  氧条纹/OSF环       

◇  P 型掺杂硅的铁面扫描图

◇  光束感应电流(LBIC)

◇  发射极层的方阻        

◇  更多…

 

技术规格 :   

材料单晶硅
晶锭尺寸125  x 125至210 x 210 mm2晶砖长850 mm或更长
晶圆尺寸直径可达300 mm
电阻率范围0.5 – 5 ohm cm。根据要求提供其他范围
导电类别p/n
可测量的参数寿命-μPCD/MDP(QSS)、光电导率、电阻率等
默认激光器

IR激光二极管(980 nm,不超过500 mW)和IR激光二极管(905 nm,不超过9000 mW)。可根据要求提供其他波长

电脑Windows 11或新版本、.NET Framework更新、2个以太网端口
电力要求100 – 250 V AC, 6 A
尺寸(宽*高*长)  2560 × 1910 × 1440 mm
重量约200 kg
认证根据ISO 9001准则制造,符合CE要求

      












        

             

直拉硅单晶硅锭中的滑移线


含有大量缺陷的准单晶硅锭的寿命测量


MDP studio -  操作和评估软件 :

用户友好且*的操作软件具有:

◇  导入和导出功能

◇  带有操作员的用户结构

◇  所有执行的测量概览

◇  样品参数输出

◇  单点测量(例如:注入浓度相关的测量)

◇  面扫描

◇  测试配方

◇  分析功能包

◇  线扫描和单点瞬态视图


配置选项:

◇  光斑尺寸变化

◇  电阻率测量(晶砖和晶圆片)

◇  背景/偏置光

◇  反射测量(MDP)

◇  LBIC

◇  P型掺杂硅中的铁图谱

◇  p/n检测

◇  条码读取器

◇  自动几何识别

◇  宽的激光器波长范围


少子寿命测试仪µPCD/MDP (MDPpro 850+)  应用 :        

铁浓度测定

铁的浓度的精确测定是非常重要的,因为铁是硅中丰富也是有害的缺陷之一。因此,有必要尽可能准确和快速地测量铁浓度,具有非常高的分辨率且**是在线的

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掺杂样品的光电导率测量

B和P的掺杂在微电子工业中有许多应用,但到目前为止,没有方法可以在不接触样品和由于必要的退火步骤而改变其性质的情况下检查这些掺杂的均匀性。迄今为止的困难……

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多晶硅晶圆线扫描HJT晶圆的寿命测量

       

         

       

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