半导体缺陷检测 PULSAR系列中的Pulsar L系列及Pulsar H系列是应用于电子、半导体工业领域的缺陷检测设备，如WLP，PLP, 晶圆制造前端工艺等，可实现从低分辨率到高分辨率的缺陷检测、分类、定位测量等功能

2. 半导体缺陷检测 PULSAR系列的特点

n  多种分辨率，分辨率达0.1um

n  测量速度快，产能可以到6pcs/hr（6inch，0.2um分辨率下），检出率95%

n  设备稳定性和可靠性高

n  自动缺陷分类、自动缺陷图像存储、自动及手动缺陷复查

n  高速、高数据率和高灵敏度图像处理系统

n  亚像素的分辨率（1/10像素）

n  可灵活扩容图像处理吞吐能力

3. 光学系统

高速TDI线阵扫描

实时自动聚焦

高分辨率：分辨率低至0.5um

支持多倍率镜头自动切换

4. 运动系统

多轴运动平台

高精度，XY重复性±0.5um

高性能

5. 软件系统

n  软件自主设计开发，拥有自主知识产权

n  模块化设计，提高效率，方便维护与功能升级

n  简单易用的人机交互界面

n  超大数据流采集及实时处理能力

n  多样的结果显示及报表打印

n  完善的系统自我诊断功能

6. 规格