日本Anelva水晶规真空规高稳定测量紧凑轻便 M-320XG 特点介绍

可在大气压至1×10 -2 Pa的广泛压力范围内进行高度可靠的测量。

由于它利用了晶体振荡器的谐振阻抗根据压力而变化的现象，因此具有更高的再现性，并且可以在接近大气压的情况下进行高度稳定的测量。

它可用作压力开关，用于检测腔室中的大气压力通风口以及测量过程压力。

测量范围宽：

从大气压到1×10 -2 Pa，测量结果具有良好的重复性。

高度安全的

晶体真空计是没有热源（灯丝）的真空计。

紧凑、超轻的

控制器单元适合手掌，重量仅为 200 克

日本Anelva水晶规真空规高稳定测量紧凑轻便 M-320XG 规格参数

型号名称M-320XG

测量球XG-1 晶体测头（仅适用于晶体测头）

测量压力范围1×10 -2 Pa 至大气压

气体类型选择氮气、氩气、氢气、空气

模拟输出

（压力信号）DC 0 - 10 V：使用数字开关设置以下项目的输出格式

①日志输出 ②

复合输出

③线性输出 满量程压力范围可选（1×10 1 、 1×10 2 、 1×10 3 、 1×10 4 、 1 ×10 5帕)

远程输入/输出输入 ① 气体种类设定 2 位信号切换

② 零点调整

③ ATM 设定

输出 2 个设定点输出

设定点2点（光电耦合器输出，迟滞固定）

由数字开关设置（SP1，SP2余尾数，指数）

操作环境5 ℃ 至 50 ℃（包括控制器）

仅测头耐热温度 150 ℃ MAX

零位调整使用 PUSH 开关或远程 I/O 输入进行软件调零

满量程调整通过微调器音量调节

输入/输出连接器Dsub 15P

展示3 个 LED（PWR/ALM...绿/红双色发光，SP1-状态...绿色，SP2-状态...绿色）

所需电源DC 22 V 至 33 V，（最大功耗 2 W）

外形尺寸（毫米）72.5H x 102W x 44.5D（不含测头）