- 面议
参考价：
起订量：
APS系列 感应式碳化硅长晶炉
- 型号
- APS系列
该企业相似产品
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
APS系列 感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
2. 设备用途/原理
APS系列 感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。创新的结构设计，提供高纯材料生长能力。智能的运行 / 监控系统，适于长时间 / 高温 / 低压工艺，拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口。包含多款辅助设备：大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备。
3. 设备特点
晶体尺寸 6、8 英寸，加热方式 感应加热，适用材料 碳化硅、氮化铝，适用工艺 物理气相输运法（PVT 法），适用域 科研、化合物半导体。
