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AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉
- 型号
- AGF系列
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详细信息
1. 产品概述
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉，适用于 6、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
2. 设备用途/原理
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉，适用于 6、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长，4 组加热器独立控制，灵活的温场调节机能力。坩埚系统具备升降、旋转功能，温场更均匀，下装载，上维护，操作便捷。
3. 设备特点
晶体尺寸 6、8 英寸，加热方式 电阻加热，适用材料 碳化硅，适用工艺 物理气相输运法（PVT 法），适用域 科研、化合物半导体。碳化硅单晶是最重要的第三代半导体材料之一，具有禁带宽度大、高热导率、高饱和电子迁移率、高击穿电场等特性，在智能电网、电力牵引、电动汽车、微波射频等领域具有优势。
