- 面议
参考价：
起订量：
HORIC D200系列 扩散/氧化系统
- 型号
- HORIC D200系列
该企业相似产品
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述
HORIC D200系列 扩散/氧化系统，半导体客户端机台装机量大。
2. 设备用途/原理
HORIC D200系列 扩散/氧化系统，半导体客户端机台装机量大。可根据客户需求配置多工艺组合的机台。安全性能高：设备及所使用的元件符合国标和国际标准。可提供优良成熟的 MES 系统解决方案。优异的工艺技术支持。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4、6、8 英寸，适用材料 硅、碳化硅、硅基氮化镓。适用工艺 磷扩散、硼扩散、氧化、退火、合金。适用域 科研、化合物半导体。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
