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VERIC A6151A 碳化硅高温氧化炉
- 型号
- VERIC A6151A
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详细信息
1. 产品概述
VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备。
2. 设备用途/原理
VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉，适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备，高温度 2000℃，升温速率可达 100℃/min。石墨电阻加热，工艺腔室洁净。自动装片，Cassette to Cassette。SEMI S2/S6 认证。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4/6 英寸兼容，适用材料 碳化硅、氮化铝，适用工艺 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、沟槽平滑，适用域 科研、化合物半导体。百科：退火炉的原理主要涉及通过控制加热和冷却过程中的温度和时间，以改变半导体材料的性质或结构，从而实现对材料的精确控制和优化处理。这种设备通常被称为RTP（Rapid Thermal Processing）快速退火炉。RTP退火炉的关键特点包括快速升温、保持温度、冷却阶段以及气体控制。
