1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

THEORIS A302L 12英寸立式低温退火炉

1、先进的压力控制系统

Advanced pressure control system

2、高精度温度场控制技术

Higher precision temperature field control technology

3、先进的颗粒控制技术

Advanced particle control technology

4、可靠的氢气工艺能力技术

High reliability of H2 process technology

5、高产能

Higher throughput

技术参数

1、晶圆尺寸 12 英寸

2、适用材料  硅

3、适用工艺 低压合金、金属 / 非金属退火、薄片退火

4、适用领域  新兴应用、集成电路、先进封装