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Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备
- 型号
- Saqua SC3080A系列
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
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详细信息
1. 产品概述
Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备。
2. 设备用途/原理
Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备，精密的腔室微环境控制能力，支持多种化学品，高效的化学品回收效率，4 腔或 8 腔可选。
3. 设备特点
晶圆尺寸 12 英寸，适用材料 单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜。适用工艺 后段 Cu/Al 制程刻蚀后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蚀， 后段控挡片回收。适用域 新兴应用、集成电路、先进封装。百科：单片清洗设备主要用于清洗半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的清洗干燥工艺。单片清洗设备是半导体制造过程中的关键设备之一，特别是在硅片制造、晶圆制造及芯片封装等场景中发挥着重要作用。这些设备通过采用旋转喷淋、超声波、气泡等方式逐片清洗晶圆，确保半导体器件的洁净度和性能。
