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customized 硅芯清洗机

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customized
深圳市矢量科学仪器有限公司

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








详细信息


1. 产品概述:

英思特硅芯清洗机是专门用于硅芯清洗的设备,通过一系列特定的清洗工艺和技术,有效去除硅芯表面的杂质、污垢、氧化物等,以达到硅芯在半导体制造等领域应用所需的高洁净度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系统、传输系统、电气控制系统等部分组成,各部分协同工作,实现对硅芯的自动化清洗流程。

2. 设备应用

· 半导体产业:在半导体芯片制造中,硅芯是重要的基础材料。硅芯清洗机用于清洗硅芯,为后续的外延生长、掺杂等工艺提供洁净的硅芯表面,确保芯片的质量和性能。例如,在制造高纯度的半导体器件时,硅芯表面的洁净度直接影响到器件的电学性能和可靠性。

· 光伏产业:用于光伏电池生产中硅芯的清洗,提高硅芯的表面质量,从而提升光伏电池的转换效率和稳定性。

 

3. 设备特点

1.产品用途:适用于2"~8"硅芯清洗

2.设备介绍:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件.

基本材质:箱体材质:德国兹白色聚丙烯(PP)

门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC)

腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)

清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP)

腐蚀槽配有美国聚四佛乙烯加热器,虹吸上排,传感器

清洗槽配有溢流装置和N2鼓泡装置

整机外形美观,实用

3.设备外形尺寸:2000X1000X1800(mm)

4.设备重量:8000Kg(约)

5,设备控制方式: PLC结合操作触摸屏控制

6.设备动力条件:电源:380VAC+-10%频率 50HZ+-10%,三相五线制

整机额定电功率(参考):20KW

电气性能:E级,并有良好的接地

水工:压力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口径DN25

DIW:压力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),电阻率15MDN25

气源压缩空气:0.3~0.5MPa,口径3/8"(配有水分离器)

排废:DN50

排废酸:DN40

排风:DN200

环境要求:空气温度5-40°C;相对湿度:80

 


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