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FB系列 真空炉

型号
FB系列
参数
产地类别:进口 价格区间:面议 仪器种类:箱式炉 应用领域:综合
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

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致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








详细信息

1 产品概述:

   真空炉是一种在炉腔内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件组成)将炉腔内部分物质排出,使炉腔内压强小于一个标准大气压,从而实现真空状态的加热设备。其炉膛通常由金属罩壳或石英玻璃罩密封,并通过管道与高真空泵系统联接,以达到所需的真空度。真空炉的加热方式多样,包括电阻加热、高频感应加热等,最高温度可达3000℃左右。

2 设备用途:

真空炉的用途非常广泛,主要包括以下几个方面:

  1. 熔炼金属材料:真空炉能够提供高温和低压环境,使金属材料在熔融状态下更容易排除杂质和气体,从而提高材料的纯度和均匀性。

  2. 烧结陶瓷和粉末材料:在高温下提供无氧环境,避免材料氧化和污染,使烧结效果更好。

  3. 热处理金属材料:提供高温下的稳定、均匀的加热环境,用于提高材料的硬度、韧性等力学性能。

  4. 太阳能电池生产:用于制备太阳能电池中的硅片,进行掺杂、烧结等工艺。

3 设备特点

真空炉的特点主要体现在以下几个方面:

  1. 清洁表面:消除了加热过程中工件表面的氧化、脱碳,可获得无变质层的清洁表面,这对于改善切削性能等具有重要意义。

  2. 环保无污染:整个加热过程在真空环境下进行,对环境无污染,无需进行三废处理。

  3. 高精度控制:炉温测定、监控精度明显提高,热电偶的指示值与炉温温度可达到较高的精度。

  4. 机电一体化:现代真空炉的机电一体化程度高,工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定,实现自动化操作。


4
技术参数和特点:

通过采用9分割温度控制的in-Line方式,实现了优秀的均热性能和较高的生产性能。

由于可对应从低真空到高真空的各种用途,可以选择合适的排气系统。




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产品参数

产地类别 进口
价格区间 面议
仪器种类 箱式炉
应用领域 综合
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