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ULVAC EI-5 电子束真空蒸发镀金仪
- 型号
- ULVAC EI-5
探针台，二维材料转移台，金相显微镜，步进电机，步进电机控制器，原子力显微镜，拉曼光谱仪
艾博纳微纳米科技(江苏)有限公司致力于科研器材的研发与生产，以国际科研单位力量为支点，凝聚社会力量共同谋求推动全“人类科学发展与进步”。艾博纳微纳米科技（江苏）有限公司创立于中国江苏，用户群体分布于世界各国以及国内大陆大部分地区。公司主营业务有物理科研器材、二维材料转移装置、二维材料微纳加工设备、微纳米光学系统包括远场以及近场全波段光学显微系统研发、国产原子力显微镜、耗材（包含氮化硼国产高质量生长等各种晶体、硅片、超干净蓝膜胶带等）、其他二维材料制备相关设备如等离子处理仪、显像设备等。所有经由我司售卖的产品均享受售后保障，用户可放心购买。
详细信息
ULVAC ei-5z系列电子束真空蒸发镀金仪是一款可同时安装电子束蒸发和热蒸发源的多功能蒸发台，可用于各种金属、合金、非金属蒸发镀膜，可做垂直入射蒸发工艺，可做穿墙式设计，采用全自动控制，稳定，高效。
高真空环境：提供高纯度膜层，适用于高精度研究和少量生产。
多种材料蒸发：支持金属、ITO、二氧化硅等多种材料的蒸发，应用广泛。
ULVAC ei-5z系列电子束真空蒸发镀金仪主要技术参数：
·适用于2-8inch各种形状的Si、GaAs、玻璃陶瓷等基板；
·采用低空泵，可在20min内达到3.0*10-4Pa，极限压强可达3.0*10-5Pa或更低；
·采用电子束或热蒸发源，挡板共用；
·膜厚均匀性好于±5%；
