腔体环境

水含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)
氧含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)

前级室

设计有两个前级室
大前级室尺寸：Φ360mm x 600mmL
小前级室尺寸：Φ150 mm x 300mm(L)

工作气体

工作气体：N2、Ar、He 等惰性气体
控制气体：压缩空气或惰性气体
还原气体：工作气体和氢气（H2）的混合气。
如果净化系统只有除水功能的，还原气体与工作气体相同

气体净化系统

德国 BASF 除氧材料，美国 UOP 吸水材料，净化系统再生过程自动控制，自动除水除氧功能；可长期、持续维持气体纯度：水<1ppm，氧<1ppm。

压力控制系统

腔体气压可通过 PLC 触摸屏自动控制
控制精度为: ±1Pa
也可通过脚踏开关进行手动控制

过滤系统

进气和出气端都安装有过滤器
过滤精度为：0.3μm

控制系统

SIEMENS 彩色触摸屏（6 寸），PLC 控制系统，中英文双语可切换
水探头：采用美国 GE 品牌，0～1000ppm 触摸屏显示，精度 0.1 ppm
氧变送器：采用美国AII品牌，0～1000ppm触摸屏显示，精度0.1 ppm
压力传感仪：采用美国 setra 品牌，-2500～2500Pa 触摸屏显示，精度±1Pa

手套

美国 NORTH 品牌丁基合成橡胶

照明系统

配置飞利浦品牌荧光灯管

仪器尺寸

2300mm(L) x 1500mm(W) x 1900mm(H)

注意事项

手套箱内部气体循环时，必须保证循环系统管道通畅，不可堵塞
手套箱中不可通入腐蚀性气体
要定期对手套箱进行再生
手套箱的除氧速率要根据所通入的工作气体而定，采用 N2 的除氧要比通入 Ar 好
若手套箱内部放有腐蚀性气体（如 LiPF6 电解液），不使用时，必须把装液体的瓶子密封好

旋涂机参数

1、腔体（材质）：聚丙烯

2、载样盘（吸盘）：聚丙烯吸盘Φ19mm 、Φ60mm 、φ100㎜各一个

3、运行方式：可储存 12 组程序；每组程序包含 6 个运行阶段

4、涂膜转速：20rpm-12500rpm 有效，速度分辨率1rpm/s

5、增减速率：每段增减速率设置范围： 20 rpm —15000 rpm/s

6、涂膜时间：每段时间范围：0-3000s

7、转速稳定性：±1%

液体搅拌系统

配备四个可加热磁力搅拌泵

加热温度RT-100℃

磁力搅拌速度：0-2000rpm

注液系统

移液枪自动左右上下移动

水平移动有效行程：500mm行程

水平移动速度：1~1800mm/min(整数)。

垂直上下移动有效行程：250mm；

上下提拉移动速度：1~200mm/min(整数)

配备四个高精度自动注液器

注液精度：±1μl

增量：1μl

薄膜烘干系统

1、加热功率：3500W

2、加热温度：≤500℃

3、控温精度：±1℃

4、加热板：350mm×240mm