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MTS系列三维形貌量测设备
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西努光学创建于2003 年，主营工业显微镜及制样设备、镜片测定设备，高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。
西努光学秉承“以光学为核心，为客户提供解决方案”的经验思路，经过16年的努力，成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统，通过系统资源整合，为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
2016 年，我们积极引进检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台，以更好的为客户提供现场体验，从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。
详细信息
MTS系列三维形貌量测设备：光谱共焦传感器结构
光谱共焦位移传感器是一种通过光学色散原 理建立距离与波长间的对应关系，利用光谱 仪解码光谱信息，从而获得位置信息的装置。
在光谱共焦位移传感器系统中，
系统的测量范围受4个方面的因素影晌：
1. 光源光谱分布范围
2. 色散镜头在工作波段范围内的轴向色差
3. 光谱仪的工作波段
4. 光纤耦合器的工作波段
光谱共焦优势
多功能光谱共焦传感器
我们的光潜共焦传感器通过高品质光学镜头沿汜光轴在不同距离而非单个点上聚焦白光，所有的可见光波段都 在焦点上。这种多功能的光学传感器为测雯技术开辟了新的维度。
·任何材料都可测试- 非透明/ 透明材料，漫反射/ 反射， 吸收，彩色，粗糙/ 抛光
·同轴测试避免了阴影的影响
·斜面接受度和数值孔径使得可测量角度在反 射表面可达 45° , 漫射率表面> 80°
· Z 轴分辨率和精度- 无需 Z 轴扫描获取测试 结果，每个测试点都可传递一个测试值
·超快测试速度的多点线阵传感器允许多点平行测试
·小且恒定的光斑尺寸可实现高的横向分辨率
·光学探头被动，无需移动任何部件或者嵌入电
路- 可保证高的热稳定性，长时间的可靠性和重复性
测量方式对比
数码类显微镜
- 表面形貌需要做景深叠加，速度慢 - 视野小
- 扫描精度取决于Z轴电机和物镜景深
激光共聚焦类显微镜
- 表面形貌需要逐层扫描，速度慢 - 视野小
- 人为数据量测
三角反射型类光谱共焦
- Z轴分辨率更低
- 扫描易出现盲区
- 透明材质和镜面材质效果不佳
白光干涉
- 使用及维护成本高
- 不适合较大的样品和起伏比较大的样品
- 对表面比较粗糙的样品效果不佳
MTS优势
非接触式无损测量
最高20nm的Z轴分辨率
无需景深叠加速度更快
样品表面反射率不受限制
提供表面三维全部信息
可自定义扫描区域
可接入Q-DTS
可接入西励牛油果AI
MTS系列三维形貌量测设备技术参数
MTS 01 | MTS 02 | |||||
光学模组 | 量程 1 /mm | 0.2 | 1 | 0.24 | 0.6 | 10.6 |
点数/线 | 192 | 1200 | ||||
线长/mm | 0.96 | 1.91 | 1.18 | 2.36 | 11.9 | |
点间隔/μm | 5 | 10 | 0.98 | 1.97 | 9.9 | |
Z轴分辨率/nm | 20 | 80 | 25 | 50 | 800 | |
精度 2 /nm | ±80 | ±300 | ±125 | ±250 | ±4000 | |
四轴电动平台 | 采样速率/Hz | 6000 | 36000 | |||
XY轴行程/mm | 350X350 | |||||
XY轴定位精度/μm | ±0.3 | |||||
XY轴重复定位精度/μm | ±0.15 | |||||
Z轴行程/mm | 5mm | |||||
Z轴定位精度/μm | ±0.2 | |||||
Z轴重复定位精度/μm | ±0.1 | |||||
T轴定位精度 | ±2 arcsec | |||||
T轴重复定位精度 | ±1 arcsec | |||||
扫描速度/mm/s | 80 | |||||
2D定位相机 | 有效像素 | 2464×2056 | ||||
视野大小 | 8.6x7.2mm | |||||
光源 | LED点光 | |||||
软件系统 | 光谱共焦采集功能 | |||||
导航图采集，定位功能 | ||||||
可选配Q-DTS数据互联模块，牛油果AI | ||||||
2D＆3D测量 | 长度、宽度、高度、角度、体积等测量工具 | |||||
电脑系统 | 可定制软件功能 | |||||
报表输出 | Word、Excel等 | |||||
①2kHz以上，测试量程随频率增加而降低
②20° C时垂直镜面测量
所给数据来源于典型应用中的测试，与其他特定情况的测试会有差异。后续印刷错误，修订，更新也会造成与表格中所列技术参数的不同。因此，不保证表格中此产品所给技术参数，测量结果和信息的一致性。
