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实验室镀膜机
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生产厂家江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴,是一家初期以 高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术 力量雄厚,人才济济,凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现, 在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可 靠性匀胶机荣获江苏省高新技术产品,是国内匀胶机全系列、多功能、定制 化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备:Schwan technology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌,主要有匀胶机、显影机、 烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品;L EB O science®是我们的工业半导体设备品牌,主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、 去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。 公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光 电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及先进封装等领域,具有核心技 术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。
制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 (最大可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa) 分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa) |