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KS-C300 12寸 集束型涂胶显影机

型号
KS-C300
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

1. 产品概述

KS-C300涂胶显影机是一款高效能的设备,广泛应用于封装、MEMS(微电机械系统)、OLED(有机发光二极管)等领域的涂覆和显影制程。该设备的设计理念强调高产能与灵活性,每小时可以加工高达180片晶圆,极大地提高了生产效率。这一特性对于满足快速变动的市场需求,尤其是在高科技产业中无疑具有重要意义。

KS-C300不仅具备处理能力,还有出色的兼容性,能够适应不同材质的晶圆,包括硅晶片、玻璃片、键合片以及各种化合物材料。这样的多样化选择使得设备能够被广泛应用于多种芯片制造领域,包括逻辑类和存储类芯片、摄像头芯片以及功率器件芯片等。

此外,KS-C300的国产化集成电路设备的成功应用,为客户提供了一个显著的成本优势。通过国产设备的引入,客户不仅能够节省大量的采购及维护成本,还能加快设备的调试与服务响应,缩短产品上市时间。这一系列优点使得KS-C300在行业内受到广泛认可与青睐。

该设备还通过了严格的SEMI S2认证,进一步证明了其在安全性、可靠性及高性能等方面的表现。SEMI S2认证是半导体设备行业的重要标准,确保设备在生产过程中符合国际安全及环境保护要求,为客户提供了额外的信心。总体来看,KS-C300涂胶显影机凭借其高效的生产能力、多样化的兼容性以及可靠的安全标准,成为先进半导体制造工艺中的设备之一。

2. 产品优势:

适合超薄晶圆处理,超厚胶涂敷、显影、烘焙工艺
涂胶单元特殊设计,避免高黏度胶离心涂敷时产生的“棉花糖"现象
机台为全封闭模块化结构,工艺单元灵活选配
占地面积小,产能高

工艺上可实现5mm以下晶圆翘曲片的传送加工,热板采用渐进式烘焙
可满足工厂自动化需求,无人值守

3. 应用域:

封装
MEMS
OLED



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