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KS-CF300/200-8SR 全自动SCRUBBER清洗机
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述
该清洗机设计得精密而高效,能够全面满足对晶圆表面、背面及边缘的清洗需求。借助于创新研发的二流体喷嘴技术,该设备能效率去除附着在晶圆表面的微小颗粒污染物。这一技术的突破使得清洗过程不仅迅速,确保晶圆在进入下一工序之前达到预期的洁净度。
为了实现最佳清洗效果,工程师们通过大量仿真试验与实际工艺实验相结合,优化了清洗工艺的各项参数。这种科学的调试过程能够精确控制清洗强度和时间,有效避免对晶圆表面图形造成潜在损伤,确保精密制造的需求得以满足。
针对微米级别的大颗粒污染物,清洗机配置了采用特殊材料制成的毛刷和高压喷淋装置,通过物理刷洗与高压水流相结合的方式,有效去除附着在晶圆表面的顽固污垢。这种多方位的清洗手段,使得清洗过程变得更为高效和全面。
2. 产品优势:
机台可采用防静电管路,防止水中静电荷到达晶圆表面,对图形造成破坏
翻转单元接触点少,减小了与晶圆的接触面积
所有表都为数字显示,数据上传工控机方便追溯
机台优化传输路径,产能大幅提升
软件客制化,界面友好,可按照客户要求更改
更高效的FFU
售后服务:响应快,当地驻厂服务(7X24小时)
支持工厂自动化
3. 应用域:
晶片炉管后清洗
化学气相沉积(CVD)后的清洗
物理气相沉积(PVD)后的清洗
化学机械抛光(CMP)后的清洗,后段干法刻蚀后的清洗
特殊工艺要求晶圆背部及晶圆边缘的清洗