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KS-S300-SR 单片清洗机

型号
KS-S300-SR
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

经销商

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

1. 产品概述

该设备专为晶圆封装及OLED制造中的清洗工艺而设计,通过多种清洗手段的结合,能够实现清洗效果。配合高效的清洗化学药液,设备有效去除晶圆表面的颗粒物、有机物、金属离子等各种杂质,确保封装和整体性能的可靠性和稳定性。

在高压水清洗的过程中,强大的水流能够深入清洗晶圆表面的微小缝隙,进一步去除附着的污染物。而常压水清洗则为敏感材料提供了一种相对温和的清洗方法,避免了因压力过大而造成的潜在损伤。此外,兆声波清洗技术通过产生高频声波产生微小气泡,在清洗过程中有效去除难以清洗的顽固杂质,从而提升整体的清洗效率。

二流体水清洗技术则通过将水与气体混合,形成高度渗透的清洗介质,进一步增强了清洗的均匀性。同时,结合毛刷清洗与喷洒清洗剂的手段,可以针对特定的污染物进行定点清洗,更加精确高效。这种多层次的清洗流程不但提升了清洗效果,也缩短了整体作业时间。

2. 产品优势

清洗机可以提供持续稳定的液体压力输出,以保证工艺效果和产能

在不损伤图形的提下,提供较强的兆声波能量,加速液体分子冲击力,以去除深孔、深沟槽内的污染物
液体流量、压力以及温度等参数控制的稳定性,为产品的一致性提供了有力支撑

3. 应用域:

封装域中的表面颗粒污染物去除
TSV深孔内含氟聚合物去除
OLED域中基板来料清洗、成膜清洗、硼磷清洗及蒸镀基板清洗等


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