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TWB-200 晶片清洗机
- 型号
- TWB-200
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
本机是一款全自动晶片刷洗机，全程封闭环境采用机械手自动操作，具备刷洗甩干功能，适用于各种半导体衬底材料抛光后的刷洗，可有效减少晶片表面颗粒污染。
功能齐全
具备刷洗甩干功能，全程封闭环境机械手操作，风险小，避免二次污染
操作简便
PLC触摸屏控制，机械手自动完成cassette to cassette的全自动晶片刷洗工作
兼容性好
可兼容2、4、6英寸晶片
占地面积小
尽量减少洁净间的占地面积
性能参数
