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电浆辅助式化学气相沉积设备

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价格区间:面议 应用领域:环保,生物产业,制药,综合
北京瑞科中仪科技有限公司

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显微镜,激光共聚焦,电镜,x射线,激光捕获显微切割,荧光成像系统,DNA/RNA合成仪,半导体行业仪器设备,生命科学仪器,光刻机,

北京瑞科中仪科技有限公司一家是专门从事数码光学显微镜及相关实验室设备研发与销售的新型高科技公司,也专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的材料分析解决方案,北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器,以专业能力导向,精细工艺流程,用科学手段解决科研中遇到的难题.彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

公司主要产品包括:生物显微镜、金相显微镜、偏光显微镜、体视显微镜、数码显微镜、显微镜数码相机照相接口、显微镜*冷光源、数码图像分析系统、测量显微镜、三座标测量显微镜,激光细胞显微操作 拉曼显微镜光学仪器及设备/光学显微镜/荧光显微镜光学仪器及设备/电子显微镜/其它电子显微镜半导体行业专用仪器/其它半导体行业仪器设备其它半导体设备生命科学仪器/分子生物学仪器/PCR仪生命科学仪器/分子生物学仪器/基因测序仪生命科学仪器/分子生物学仪器/DNA合成仪半导体行业专用仪器/薄膜生长设备/其它薄膜沉积设备半导体行业专用仪器/光刻及涂胶显影设备/无掩模光刻机/直写光刻机

公司经销代理品牌包括:蔡司显微镜,奥林巴斯显微镜,尼康显微镜,徕卡显微镜,国产各厂家显微镜, 华粤行 ,基恩士 , 日本电,日立 ,布鲁克,三和联, sentech(森泰克),SYSKEY(矽碁), PE(铂金埃尔默)全系产品 ,天美爱丁堡,原子光谱,气相色谱,PE(铂金埃尔默)全系产品

代理经销的产品种类包括,荧光显微镜,荧光显微成像系统,激光捕获显微切割,全自动切片扫描,三维超景深显微系统,动物超声系统,3D超景深显微镜,形貌探测显微镜,蔡司共聚焦显微镜,全自动数字切片扫描,病理切片扫描,激光切割显微系统,立体显微镜,国产激光共聚焦显微镜,精准医学显微切割,激光显微切割系统,按需搭建显微系统,荧光光谱仪,激光细胞显微操作 拉曼显微镜光学仪器及设备/光学显微镜/荧光显微镜光学仪器及设备/电子显微镜/其它电子显微镜半导体行业专用仪器/其它半导体行业仪器设备其它半导体设备生命科学仪器/分子生物学仪器/PCR仪生命科学仪器/分子生物学仪器/基因测序仪生命科学仪器/分子生物学仪器/DNA合成仪半导体行业专用仪器/薄膜生长设备/其它薄膜沉积设备半导体行业专用仪器/光刻及涂胶显影设备/无掩模光刻机/直写光刻机


公司成立伊始,即本着“以人为本,诚信发展,合作共赢"的企业宗旨,快乐中结识新朋友,稳步中追求新发展。目前公司已经拥有一支由专业技术人员、营销人员和维修人员组成的强大队伍,竭诚为广大客户提供包括技术咨询、产品配套、安装调试、应用指导、维护保养在内的整套细致入微的服务。同时公司还依托中国地质研究院、清华大学、中国农业大学、中科院等科研院所的强大技术实力,特聘多名教授、博士作为我公司提供多方面的技术支持。

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北京瑞科中仪科技有限公司秉承“专业的人员,过硬的技术,优秀的产品"精神,为您提供专业、及时、周到的技术服务,北京瑞科中仪科技有限公司必将成为您值得信赖的伙伴!












详细信息

电浆辅助式化学气相沉积设备

电浆辅助式化学气相沉积设备(PECVD)是一種使用電漿的化學氣相沉積(CVD)技術,可為沉積反應提供一些能量。與傳統的CVD方法相比,PECVD可以在較低的溫度下沉積各種薄膜且不會降低薄膜質量。

电浆辅助式化学气相沉积设备

电浆辅助式化学气相沉积设备PECVD比半導體行業中的其他CVD技術更廣泛地使用,且可以在較低的工作溫度(低於350°C)下沉積薄膜,並具有不同形狀的均勻沉積與良好的覆蓋率。SYSKEY的系統可以精準的控制製程氣體與監控其數據(壓力、載台溫度),並提供高品質的薄膜。

电浆辅助式化学气相沉积设备

我們也開發不同機器但共用零組件,以達到節省成本。

應用领域腔體
  • 電漿清洗。

  • SiOx、SiNxa-Si、DLC和其他薄膜。

  • 防刮顯示屏。

  • 醫療和商業產品的耐磨薄膜。

  • 封裝,絕緣層。

  • 鋁或不銹鋼腔體或石英腔,佔地面積小

  • 通過使用水冷系統、加熱器或加

    熱器包來控制腔體溫度。



配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,直徑可達12

    寸晶圓。

  • 單載片或多載片。

  • 優異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 精準流量控制器,氣體分佈高度均勻,最多可擴充10條氣體管線。

  • 穩定的溫度控制,可將載盤加熱至400°C

  • 使用電容式耦合電漿(CCP)。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套

    箱整合在一起。

  • RPS用於腔體清潔。

  • 發射光譜儀

  • 高真空傳送系統。




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