1.产品特点

设备小巧：PT500真空等离子清洗机设计紧凑，适合在实验室环境中使用，便于操作和存放。

真空腔容量大：虽然设备小巧，但其真空腔容量足够大，可以满足小批量样品的处理需求。

无高温清洗：清洗过程不会产生高温，避免了产品因热变形而导致的质量问题。

广泛适用性：可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料等，应用广泛。

一键式操控：设备操作简便，一键式操控，提高了工作效率。

无环境污染：清洗过程中无化学品消耗，机台本身不产生污染物，符合环保要求。

2.技术参数

参数名称：参数值

腔体材质；铝合金

供电电源：AC220V

射频电源功率：0-500W可调

射频频率：25KHz

真空度：≤100Pa

气体路数：单路

气体流量：0.1-1l/min（可调）

清洗时间：0—999连续可调

内腔尺寸：147mm*145mm（可定制更大尺寸）

外形尺寸：452mm380mm225mm（注意：不同来源信息中高度可能略有差异）

重量≈18KG

包装方式：纸箱包装

3.应用域

PT500真空等离子清洗机广泛应用于微电子、半导体、光电、航空航天等行业的制造和实验研究等域。它是目表面处理工艺的重要设备之一，能够有效地去除样品表面的污染物和氧化物，提高样品的表面质量和性能。