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SAM全自动 全自动超声波扫描显微镜
- 型号
- SAM全自动
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
SAM Autotray 系列:SAM Auto Tray是专门为电子器件、电路板、IGBT和其他复杂部件的生产控制而开发的产品系列。该系统符合10级洁净室标准，主要应用包括验证缺陷，如：缝隙、气泡、孔洞、夹杂物、脱层区域、焊接或银烧结界面的厚度变化等，支持同时检查多个界面。
SAM Autowafer 系列:SAM 300 AutoWafer系列是专门为内联生产控制而开发的产品系列，符合100/1000级无尘室标准，该系统专为检测晶圆界面、晶圆键合、 MEMS 产品、或者混合粘合应用而设计，可用于检测空洞、夹杂物或分层或微空隙。多传感器配置可使得晶圆检测通过率高。
SAM 大视场扫描系统:SAM大视场系列是专门为分析DCB’s或电源模块而开发的产品系列，可支持检测扫描范围为300µm x 300µm到1300mm x 1300mm。多至8个传感器可实现超高检测通过率。该系统包括自动缺陷审查软件、GEM/SECS通讯，以及MES通讯。激光打标站和分类输出端口可供选择。
