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SW系列 真空计
- 型号
- SW系列
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述：
皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器（传感器单元）中除去操作·显示部，大限度凝缩精简功能，使「降成本」和「省空间」成为可能。
2. 特点
测量范围：可以进行从大气压到5×10-2 Pa
抗冲击性提高：具有高抗冲击性的结构设计
优异的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度均在±20％以内
灯丝材料·铂（Pt）：由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高：配备可确认异常的LED
一触式调整：一键式即可进行大气压力调整和零点调整
维护：更换测定子更轻松
适用测定子扩展：除了NW16 / 25规格外，还将Φ15/ 18规格，拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中
3. 用途
太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空域的工艺控制
用于有振动・冲击的各种真空排气系统
