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UNECS系列 光谱椭偏仪
- 型号
- UNECS系列
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
1. 产品概述：
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
2. 特点
高速測定
快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。
3. 用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
