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SurfaceSeer S-201 高分辨二次离子质谱仪tof-sims
那诺中国有限公司专注于为大中华区域(包括中国大陆、香港、澳门和中国台湾)的高校、科研院所、企业研发与生产等企业机构提供高性能、高性价比、定制化的薄膜工艺加工设备及科学分析检测仪器。
那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备(包含磁控溅射、热蒸镀、电子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、离子束、DRIE、晶圆兆声清洗机等)。
那诺中国提供英国KORE基于飞行时间的质谱仪,包含飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)、质子转移反应(PTR)质谱仪、电子轰击电离(EI)质谱仪等。
Kore SurfaceSeer S在飞行时间二次离子质谱仪 (TOF-SIMS) 系列中,是一款高性价比且经久耐用的产品。它是研究样品表面化学成分的理想选择,适用于研发和工业质量控制应用。
高分辨二次离子质谱仪tof-sims是非常灵敏的表面分析手段,它将脉冲一次离子束聚焦到样品表面,在溅射过程中产生二次离子。分析这些二次离子可提供有关样品表面的分子、无机和元素种类的信息。其凭借质谱分析、二维成像分析、深度元素分析等功能,广泛应用于医学、细胞学、地质矿物学、半导体、微电子、物理学、材料化学、纳米科学、矿物学、生命科学等领域。
Kore SurfaceSeer S型号的高分辨二次离子质谱仪tof-sims使用的是5keV Cs+离子束(可选惰性气体Ar+),该离子束是脉冲式的,以限度地减少连续离子束可能造成的表面损伤。 在每100µs TOF 循环中,该离子枪的脉冲时间仅为60ns,因此,主光束提供的电流比连续打开时少1000倍以上。典型的10s实验时间所产生的电流仅相当于几毫秒的连续光束电流。 要达到所谓的“静态SIMS”极限,需要在一个点上进行几分钟的分析,在这个点上,表面损伤在数据中变得清晰可见(取决于焦点和光 束电流)。尽管离子剂量较低,这款TOF分析仪还是非常高效的,这就说明了它具有较高的二次离子数据速率(即使在离子产率相对较低 的聚合物上,也通常为5000 c/s)。
TOF-SIMS的高表面灵敏度使其成为解决问题的良好起点,可以对样品中存在的物质类型进行概述。然后可以使用其他技术来获取其他信息。TOF-SIMS还可以检测到比传统表面分析技术(如XPS和Auger)低得多的物质水平。
SurfaceSeer S 仪器特点:
配备5keV Ar+/Cs+脉冲式离子束,以限度地减少连续离子束可能造成的表面损伤,实现样品“无损”分析;
针对工业领域的低成本TOF-SIMS仪器;
均适用于导电物体表面和绝缘物体表面的分析 ;
可在1~2min内实现高速率的正负质谱分析;
质量分辨率可达 >2,500 m/δm (FWHM);
适用于导电物体表面和绝缘物体表面的分析。
SurfaceSeerS应用领域:
表面化学
黏附力
分层
印刷适性
表面改性
等离子体处理
痕量分析(表面ppm)
催化剂
同位素分析
表面污染