Cygnus2 INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用
OLED 应用提供最佳测量精度
Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多特别的功能，可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的优秀者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器更好的性能、品质和功能，赋予您的过程优秀的可重复性。
功能
l INFICON ModeLock 技术确保获得最高、更稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
l Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
l 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
l 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
l 10 Hz 测量
l 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
l USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
l 多个源厚度合计功能
l 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）
l 速率显示分辨率可达 0.001Å
l 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
l 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
l 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
l 可选以太网通信
l 符合 RoHS 标准
INFICON英福康膜厚控制仪OLED专用
规格
测量性能 | |
厚度和速率分辨率/测量 (1) | ±0.00433 Å |
测量频率范围 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) |
过程配方和数据管理 | |
材料计划 | 6 independent materials |
来源数量 (2) | up to 6 |
(1) 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6 兆赫兹
(2) Cygnus 2 有 6 个 DAC 输出标准，还可选择再添加 6 个。 可将 12 个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为 6
