OPG550 INFICON英福康光学等离子体真空计
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- OPG550
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
INFICON英福康光学等离子体真空计
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
优势
l 高速检漏，可进行腔体检漏
l 提高生产率和产量
l 寿命长，不烧丝，有气涌保护
l 可承受工艺化学反应
l 智能算法，易于集成
l 设计紧凑，占地面积小
l 可靠、快速启动
典型应用
l 腔体泄漏检查，更快的RoR（上升率）测试
l 泄漏检查，发现气体供应管道的内部泄漏
l 实时终端控制
l 气体类型和浓度控制
INFICON英福康光学等离子体真空计
规格
测量范围 N2 | 毫巴 托 | 1×10-7 … 5 (7.6×10-8 … 3.8) |
精度 总压力读数 N2 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 30 |
100 ... 1000 毫巴 | 读数百分比 | 50 |
N2 总压力读数的重复性 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 5 |
温度 | ||
运行（环境） | °C | +5 … +50 |
存储 | °C | -20 … +70 |
带电子装置的法兰处烘干 | °C | <80 |
法兰处烘干（不含电子装置） | °C | <120 |
电源电压 | ||
压力表 | 伏（直流） | +14.5 … +30 |
波纹 | 伏（p-p） | ≤1 |
耗电量 | W | ≤5 |
连接保险丝 | AT | 1 |
暴露在真空中的材料 | ||
一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不锈钢 1.4435 |
阳极 | 阳极 | 钼 |
电离室 | 电离室 | 钛，不锈钢 1.4016 |
点火器 | 点火器 | 不锈钢 1.4310 |
