SQC310 INFICON英福康膜厚控制仪
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
INFICON英福康膜厚控制仪
INFICON SQC-310 系列拥有先进的电子元件、改进的显示屏和非常实惠的价格，为您提供竞争对手薄膜控制器所不具备的功能。您可以选择适合您应用的理想型号：顺序沉积 (SQC-310) 或共沉积 (SQC-310C)。
功能
l 明亮的彩色液晶显示屏 - 提供英文或中文显示
l 标准RS-232和USB接口（可选RS-232和以太网接口）
l 通过 "快速设置 "菜单、6个上下文敏感按钮和方便的参数设置旋钮，实现简单的设置和操作
l Windows®程序，用于开发、测试和下载过程，并将仪表数据记录到PC上，用于过程分析和质量控制
l 精确的过程控制，尤其适用于低沉积速率，分辨率为±0.03 Hz，读数为10个/秒
l 可存储多达100个过程、1,000层、50层薄膜的数据
l 使用单个传感器或多个传感器监测源材料，以提供精确的源分布监测
INFICON英福康膜厚控制仪
规格
SQC-310 | |
测量 | |
QCM 输入 | 2 (4 可选） |
频率范围 | 可调: 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高 |
频率分率 (1) | ± 0.012 Hz |
厚度和速率分辨率/测量 (2) | ±0.015 Å |
频率稳定 | ± 2 ppm 总, 0 to 50C |
测量间隔 | 0.10 to 1.0 s (可调) |
显示速率 | 0.01 Å/sec |
控制 | |
储存 | 100 过程, 1000 模层, 50 模系 |
控制输出 | 2 (4 可选) |
信号输出 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
数字输入/继电器 | 8/8 (16/16 可选) |
数字输入 | 5 VDC 非隔离 |
继电器 | SPST 1A, 30V, 2A 最大 |
接口 | 标准 RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 选项) |
远程控制 | 选项 (IPN 782-900-017) |
显示 | |
类型 | 1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD |
图型 | 速率、偏差、功率或全屏数字 |
一般 | |
电源 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
兼容 | CE, RoHS |
Windows® 软件 | 包含 |
机箱 / 安装 | 5 1/4” 半机架 |
(1) 0.25 s测量间隔的分辨率
(2)工具/密度 = 100/1, 基础频率 = 6 MHz, 0.25 s 测量间隔
SQC-310C | |
测量 | |
QCM 输入 | 4 |
频率范围 | 可调: 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高 |
频率分率 (1) | ± 0.012 Hz |
厚度和速率分辨率/测量 (2) | ±0.015 Å |
频率稳定 | ± 2 ppm 总, 0 to 50C |
测量间隔 | 0.10 to 1.0 s (可调) |
显示速率 | 0.01 Å/sec |
控制 | |
储存 | 100 过程, 1000 模层, 50 模系 |
控制输出 | 4 |
信号输出 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
数字输入/继电器 | 16/16 |
数字输入 | 5 VDC 非隔离 |
继电器 | SPST 1A, 30V, 2A 最大 |
接口 | 标准 RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 选项) |
远程控制 | 选项 (IPN 782-900-017) |
显示 | |
类型 | 1/4 VGA 320 x 240 有源矩阵彩色 LCD |
图型 | 速率、偏差、功率或全屏数字 |
一般 | |
电源 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
兼容 | CE, RoHS |
Windows® 软件 | 包含 |
机箱 / 安装 | 5 1/4” 半机架 |
(1) 0.25 s测量间隔的分辨率
(2)工具/密度 = 100/1, 基础频率 = 6 MHz, 0.25 s 测量间隔
