- 面议
参考价：
起订量：
SBC-16磁控离子溅射仪
该企业相似产品
扫描电子显微镜，离子溅射仪，电镜附属设备
北京中科科仪光电科技有限公司是北京中科科仪股份有限公司注册的全资子公司，追踪电子光学技术，不断推出适应市场，满足客户需求的电子光学产品，为客户提供系列标准化扫描电子显微镜、定制电子光学仪器、辅助设备、制样设备以及系统集成的解决方案。
详细信息
主要特性
1、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
2、操作容易快捷， 控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
3、数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
4、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶为标配）， 靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
靶材 | Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚 |
标准样品台 | 可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm |
旋转倾斜样品台（选配） | 旋转速度： 0~60rpm 连续可调，倾斜角度： -90 °~ 90°连续可调； 不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm； 观察窗：直径 120mm X 高 45mm； 标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台， 其它规格可订 做； 具有双重锁紧装置， 可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱 落。 |
溅射电流 | 微处理器控制， 安全互锁，可调，电流 5~30mA，程序化数字控制 |
计量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar，电流： 0~99mA |
控制方法 | 带有 “开始”“暂停”按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅 射、关机后自动放气。 |
真空系统 | |
抽气速率 | 133L/MIN |
极限真空 | 10-4 mbar 级 |
噪音 | 56dB |
