- ¥46001件起订
起订量：
mfc330 微小气体流量控制器
- 型号
- mfc330
该企业相似产品
爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS由苏州爱拓利电 子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成 。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能 制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年，位于无锡新吴区清源路20号大学科技园 。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS，专业从事气体质量流量测量与控制 。 爱拓利拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结 构、硬件和软件等研发能力，是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企 业 ， 更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件（ 高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀 ）的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控 制器被广泛应用于半导体、光 伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器 、石化、制气 、医疗 、食品 、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时，爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系，并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产，规范化管理 ，爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀，爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议，气体种类覆盖面广、控制及测量精度高 、响应速度快、性能稳定 。
详细信息
MFC330微小气体流量控制器
MFM / MFC330 系列气体质量流量计/控制器, 其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330依然能够保持稳定的流量控制。
介质要求 Applicable media | 洁净干燥气体 Clean, dry gases |
气体种类 Gas type | 98+气体可选 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
测量范围measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范围 Control range | 1% - 1 00% F.S. (1:100) |
准确度 Accuracy | 标准 Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重复精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
线性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制响应时间 Settling time (in control) | <3秒 |
预热时间 Warm-up time | 5 min (T95), 30分钟 30min for optimum accuracy |
阀门Valve function | 常闭式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
机械特性 MECHANICAL | |
工作压力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作压差范围 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作温度范围Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (环境和气体 ambient and gas) |
湿度范围 Relative humidity range | 0 ~ 98% 无凝露 No-condensing |
气路接头类型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快拧 (可选) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
气体接触材质Material | 氟橡胶、304/316不锈钢 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材质Seals | 氟橡胶 FKM |
防护等级 Ingress protection (housing) | IP40 |
安装方式 Mounting | 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
我公司自主研发的 MFC330 微小气体流量控制器（以下简称 MFC330），
主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高
性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控
制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值
外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高
效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯；具有多气体测量，高
精度，高稳定性，极低零漂等特性。
MFC330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工
业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型
的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻
蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系
统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器
