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MFC330 微小气体流量质量控制器
- 型号
- MFC330
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爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS由苏州爱拓利电 子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成 。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能 制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年，位于无锡新吴区清源路20号大学科技园 。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS，专业从事气体质量流量测量与控制 。 爱拓利拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结 构、硬件和软件等研发能力，是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企 业 ， 更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件（ 高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀 ）的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控 制器被广泛应用于半导体、光 伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器 、石化、制气 、医疗 、食品 、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时，爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系，并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产，规范化管理 ，爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀，爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议，气体种类覆盖面广、控制及测量精度高 、响应速度快、性能稳定 。
详细信息
主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介质要求 Applicable media | 洁净干燥气体 Clean, dry gases |
气体种类 Gas type | 98+气体可选 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
测量范围measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范围 Control range | 1% - 10 0% F.S. (1:100) |
准确度 Accuracy | 标准 Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重复精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
线性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制响应时间 Settling time (in control) | <3秒 |
预热时间 Warm-up time | 5 min (T95), 30分钟 30min for optimum accuracy |
阀门Valve function | 常闭式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
机械特性 MECHANICAL | |
工作压力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作压差范围 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作温度范围Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (环境和气体 ambient and gas) |
湿度范围 Relative humidity range | 0 ~ 98% 无凝露 No-condensing |
气路接头类型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快拧 (可选) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
气体接触材质Material | 氟橡胶、304/316不锈钢 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材质Seals | 氟橡胶 FKM |
防护等级 Ingress protection (housing) | IP40 |
安装方式 Mounting | 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
电气和通讯 COMMUNICATIONS | |
电气连接接口类型Electrical connection | DB – 9公头 (Male) |
模拟信号 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
输入输出阻抗 Impedance resistance | 输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<1KΩ |
模拟数据更新频率Analog data update rate | 200Hz |
数字信号 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用户可修改） |
电源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
显示更新频率Display update rate | 50Hz |
模拟信号精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
标况 STP reference conditions | 20℃， 1 atm |
气体选择Gas Select | 可选，具体参考说明书气体系数 |
软件Software | Aitoly分阶流量软件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
2 sccm~30 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62.mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1.3kg |
5.43in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.157 | 0.393 |
| 2.88lb | |
·微小气体流量质量控制器MFC330系列使用毛细管柱传感器，其传感器、比例阀等核心器件均为自主研发，具有稳定性高、抗腐
蚀、高精度、高重复性等特点。
·MFC300微小气体流量质量控制器系列使用MEMS传感器原理，该系列产品具有响应速度快、无需预热、精确度高等特点;·另有皂膜气体流量标准装置，应用及第三方检定单位。
·Aitoly 气体质量流量计广泛应用于科研院所、半导体、光伏、真空镀膜、分析仪器、生物工艺和生物反应、环境保护、石化、食品、工业自动化及等等。
爱拓利具有高水平的产品设计、结构、硬件和软件研发水平， 拥有自主知识产权的气体质量流量计及控制器核心部件（高精度气体质量流量传感器和高稳定性微型比例阀、全金属密封比例阀）及生产设备，是国内少数能够全面自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业之一。“以关键技术自主研发为核心使命、以市场为导向”，爱拓利致力于为用户提供精准、稳定、可靠的标准化产品、定制化服务和解决方案。
