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UR421-T/UR600/UR1200 日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
- 型号
- UR421-T/UR600/UR1200
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详细信息
日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
通过在高温范围内均匀加热泵体，
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。
特征
可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
UR系列可以达到比HR系列更高的温度。
配备氦气密闭电机，密封结构，安全性高瞬时停电对策：
实施1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐腐蚀性
主要部件采用特殊表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。通讯功能：
可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。
目的
化学气相沉积设备
蚀刻设备
灰化装置
酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等
规格
| 模型 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 数据恢复计划 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| MBP | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大抽速 | 410 立方米/小时 （6833 升/分钟） | 653 立方米/小时 （10883 升/分钟） | 1012 立方米/小时 （16867 升/分钟） | 1701 立方米/小时 （28350 升/分钟） | 2700立方米/小时 （45000升/分钟） | ||||
| 极限压力 | 5.0帕 | ||||||||
| 最大入口压力 （吸入压力） | 大气压*1 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出压力） | 1~大气压Pa | ||||||||
| 进气口（CE规格） | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排气口 | VG50 | 西北40 | 西北50 | ||||||
| 大量的 | 415公斤 | 370公斤 | 403公斤 | 553公斤 | 720公斤 | ||||
| 电力 | 三相 | 180-240VAC/ 380-440VAC （50/60Hz） | 200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz) | 180-240VAC/ 380-440VAC （50/60Hz） | |||||
| 当前值 | 稳定状态 | 23A（200V 时） | 16.4A（200V 时） | 18.9A（200V 时） | 29.2A（200V 时） 20.5A（400V 时） | 39.8 A（200V 时） 20.5 A（400V 时） | |||
| 最大值 | 52.5A（200V 时） | 17.3A（200V 时） | 22.4A（200V 时） | 34.9 A（200V 时） 40.5 A（400V 时） | 68.3 A（200V 时） 40.5 A（400V 时） | ||||
| 冷却水暂压 | 0.2~0.5兆帕 | 0.1~0.3兆帕 | 0.2~0.5兆帕 | ||||||
| 冷却水进出水压差 | >0.2兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.1兆帕 | >0.2兆帕 | ||||
| 冷却水流量 | >5.0升/分钟 | ||||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 0.1~0.5兆帕 | |||||||
| 二次压力 | 0.05~0.1兆帕 | ||||||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 5 可持续发展管理 | |||||||
| 加斯巴拉 | 0~195 SLM | 0~45SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
*1 请勿在吸入压力为 200Pa 或更高的情况下连续运行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
*对于规格表中未列出的UR系列的订单，请单独检查。
■驾驶模式
| 驾驶方式 | 1 | 2 | 3 | ||||
| 氮气流量 | 可持续发展管理 | 0 | 5 | 5~50 *1 | |||
订购时请注明驱动方式。 （UR系列的标准设定：3）
*1 UR421-T、UR3601-TT的N2流量为5～200SLM。
