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HR60/HR90/HR300/HR600 日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
- 型号
- HR60/HR90/HR300/HR600
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详细信息
日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
日本进口ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵
通过在高温范围内均匀加热泵体，
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。
特征
可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
UR系列可以达到比HR系列更高的温度。
配备氦气密闭电机，密封结构，安全性高。瞬时停电对策
我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。优异的耐腐蚀性
主要部件标准采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊表面处理。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。通讯功能
可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。
用途
CVD 装置
蚀刻设备
灰化装置
酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等
规格
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 使用泵 | 决策支持系统 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| 甲基丙烯酸甲酯 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（升/ 分钟） | 62（1030） | 112（1860年） | 359（5,980） | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60赫兹 | 立方米/小时（升/ 分钟） | 80（1333） | 126（2100） | 365（6,080） | 701（11,700） | 1,051(17,500) | |||
| 到达圧力 | 出色地 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大入口压力 （吸入压力） | 大气压*1 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出压力） | 出色地 | 1~大气压 | |||||||
| 进气口（CE规格） | VG50(KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100(KF100) | |||||
| 排气口 | KF40 | ||||||||
| 质量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 电力 | 三相 | 交流电压(赫兹) | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 当前值 | 稳定状态 | 一个 | 7.1 (200V时) | 11.2 (200V时) | 7.8 (200V时) | 12.9 (200V时) | 15.4 (200V时) | ||
| 最大值 | 一个 | 7.3 (200V时) | 11.8 (200V时) | 8.1 (200V时) | 13.8 (200V时) | 18.9 (200V时) | |||
| 冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 空间光调制器 | 5 | ||||||
| 加斯巴拉 | 空间光调制器 | 0~45 | |||||||
*1 对于 HR300、HR600 和 HR1200，请勿在吸入压力 200Pa 或更高的情况下连续运行。
